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发布时间：2020-08-06 01:23:41
真空电镀目视监控：真空电镀目视监控使用眼睛监控，因为薄膜在生长的过程中，由于干涉现象会有颜色变化，我们就是根据颜色变化来控制膜厚度的，真空电镀目视监控方式有一定的误差，所以不是很准确，需要依靠经验。
七彩电镀极值监控法：真空电镀极值监控法当膜厚度增加的时候其反射率和穿透率会跟着起变化，七彩电镀极值监控法当反射率或穿透率走到极值点的时候，就可以知道镀膜之光学厚度ND是监控波长的四分之一的整倍数。
对于减薄后的基板，晶圆经过一面的电镀后，会产生一个大的弯曲，这使得电镀晶圆另一面时更加困难。在基板两侧和通孔内用一种单一的工序电镀，也可以大大简化Das等人讨论的3D结构转接板的加工。参考文献2介绍了用导电胶填充转接板通孔的工艺。对基板双面及通孔电镀互连，不仅能简化工艺流程，而且会提供更好的电气和热传导性能。你都了解了吗？
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